С помощью зондового микроскопа ФемтоСкан и капиллярной установки проводилось исследование возможностей многопараметрической литографии [6]. Объектом изучения являются образцы металлических тонких пленок (титана, алюминия, оксида железа и др.), подготовленные группой иранских ученых из Технологического университета имени Шарифа.
Также с помощью сканирующего зондового микроскопа ФемтоСкан проведено исследование образцов оксида графена на поверхности слюды. Были получены изображения чешуек оксидов графена